任氏巨源 微波化学气相沉积炉

详情描述：

产品名称：微波化学气相沉积炉        型号：WBMW-QXCJ4
产品特点：
1. 采用纯微波加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的任何材料;
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温精度高，热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计;
8、可通过电脑全程监控和调试.
产品参数：
型号（model）
WBMW-QXCJ4
可加热材料
非易燃易爆的任何材料
微波频率
2.45GHz?50MHz
加热方式
纯微波加热、～传统电加热、混合加热
功率（KW）
4 (功率可调)
温度测试元件
微波场专用传感器
控温精度（℃）
?2(微波场专用传感器)
加热管材质
石英管
高温合金管
刚玉管
加热管加热温度（℃）
1200
1200
1600
管径炉管尺寸(mm)
φ45?1200?2.5，可选配，外径φ65
炉管尺寸（℃/min）
≤200
升温速率不限
≤50
恒温区长度（mm）
标配恒温区长度100，恒温区长度100～1000以上可选
温区
可多温区同时加热
气路法兰
不锈钢法兰
 
质量流量控制(选配)
1.美国Alicat质量流量&控制器或七星华创质量流量&控制器；
2.气柜、气路及各类阀门；
3.可配套计算机自动控制系统及软件
气路数量
依据用户需求≥2路
流量范围
0～1SLM(标准升/分，可选配)氮气标定
精度
?0.2﹪F.S
响应时间（s）
≤1
工作压力
进气压力0.05～0.35Mpa(压力表)
系统连接方式
采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
系统真空范围
标准大气压～10-3Pa
 
真空泵(选配)
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰
10-1Pa真空用高档机械泵及真空计
10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计
10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计
谐振腔尺寸（mm）
700?350?530
加热腔(标配)
根据管径、加热区长度、加热温区数量确定
升温速率(℃/min)
0～1000范围内任意设定，可编程、分段加热
温度控制系统
采用PLC控制，触摸屏操作
主机外型尺寸(mm)
1500?750?1560
微波泄漏(Mw/cm2)
≤0.4
提供相关配件
高温手套?1副、中文说明书?1本、样品钩?1个
保修期
整机免费保修1年
 
我公司定制各种功率的箱式微波高温马弗炉，专业的品质和技术为您提供好的热处理方案及设备，欢迎来电咨询交流。
销售经理:李豆
销售热线：15030556837      0315-3272173      QQ：1187804988   
微信号与手机号同步